网课114 集成电路与光刻机 王向朝 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载（价值58元）【高清非扫描版】（2020年）
新工科教材《集成电路与光刻机》王向朝 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载（价值58元）【高清非扫描版】（2020年）
图书简介：
光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。
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