微光学和纳米光学制造技术 （美） Shanalyn A. Kemme 机械工业出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载【高清原版 非扫描版】

《微光学和纳米光学制造技术》（美） Shanalyn A. Kemme 机械工业出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载【高清原版 非扫描版】

图书简介：

本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、 最新的制造工艺， 重点强调了关键性的专业技巧， 提供了最新的技术信息， 内容包括面浮雕衍射光学元件、 微光学等离子体刻蚀加工技术、 使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、 光学器件的电子束纳米光刻制造技术、 纳米压印光刻技术和器件应用、 平面光子晶体的设计和制造、 三维 （3D） 光子晶体的制造———钨成型法。